Минпромторг выделит 1,43 млрд рублей для производства микроэлектроники

МОСКВА, 26 июня. /ТАСС/. Минпромторг России направит более 1,43 млрд рублей на разработку отечественной автоматизированной установки жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Соответствующая информация опубликована на сайте госзакупок.

Согласно документам, создаваемая установка должна обеспечивать автоматическое выполнение операций травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, используемых при производстве микроэлектроники. Оборудование должно обрабатывать не менее 100 пластин за один цикл и работать как минимум с восемью различными химическими реагентами и деонизированной водой, включая автоматический выбор реагента.

Документацией также предусмотрено, что ключевые элементы установки должны быть российского производства. Использование импортных комплектующих допускается только по согласованию с заказчиком.

Работы должны быть завершены до 30 ноября 2029 года. Победитель конкурса был определен 19 июня, однако сведения о нем в Единой информационной системе в сфере закупок не раскрываются.